УДК 66.094.1

Особенности получения пленок MnXSiY на кремнии твердофазной реакцией

Особенности получения пленок MnXSiY на кремнии твердофазной реакцией
©Якубов К. Р., канд. физ.-мат. наук, Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, ykr2005@rambler.ru
©Латипова М. А., Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, latipova_1976@list.ru
©Кадиров А. Х., Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, alibek_qodirov89@mail.ru

Аннотация. В последнее время при разработке новых приборных структур используются структуры с различными металлами на кремнии. Многочисленными исследованиями показано, что в результате твердофазных реакции Mn и Si можно создавать гетерофазные системы из различных силицидов марганца. Такие пленки обладают уникальным набором термоэлектрических свойств. В настоящее время получение пленки, обеспечивающей максимальную термоэлектрическую надежность пока еще не доступно. В связи с этим возникает необходимость детального исследования структуры и совершенства пленки силицид марганца – кремний, полученной на кремниевой подложке. В работе приводится исследование твердофазной реакции в диффузионной системе Mn–Si и процесса формирования фаз силицида марганца на кремниевой подложке.

Ключевые слова: кремний, силицид, силицид марганца, электропроводность, поликристаллическая пленка, спектр поглощения, спектроскопия, электрофизические свойства, фотоэлектрические свойства, гетероструктура, фаза, твердофазная реакция.

Features of Obtaining Films MnXSiYon Silicon by Solid-phase Reaction
©Yakubov K., Ph.D., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, ykr2005@rambler.ru
©Latipova M., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, latipova_1976@list.ru
©Qodirov A., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, alibek_qodirov89@mail.ru

Abstract. Recently, in the development of new device structures, structures with various metals on silicon have been used. Numerous studies have shown that as a result of solid-phase reactions of Mn and Si, it is possible to create heterophase systems from various manganese silicides. Such films possessing a unique set of thermoelectric properties. At the present time, obtaining a film with high values of a sufficient thermo-EMF, the maximum thermoelectric figure of merit of these materials of the pack has not yet been achieved. In this regard, there is a need for a detailed study of the structure and perfection of manganese silicide - silicon films obtained on a silicon substrate. In this work, we study the solid-phase reaction in the Mn-Si diffusion system and the process of the formation of manganese silicide phases on a silicon substrate.

Keywords: silicon, silicide, manganese silicide, electrical conductivity, polycrystalline film, spectrum amplification, spectroscopy, electrophysical properties, photoelectric properties, heterostructure, phase, solid-phase reaction.

Ссылка для цитирования:

Якубов К. Р., Латипова М. А., Кадиров А. Х. Особенности получения пленок MnXSiY на кремнии твердофазной реакцией // Бюллетень науки и практики. 2021. Т. 7. №4. С. 251-257. https://doi.org/10.33619/2414-2948/65/28

Cite as (APA):

Yakubov, K., Latipova, M., & Qodirov, A. (2021). Features of Obtaining Films MnXSiYon Silicon by Solid-phase Reaction. Bulletin of Science and Practice, 7(4), 251-257. (in Russian). https://doi.org/10.33619/2414-2948/65/28