УДК 544.35.03

Получение варизонного твердого раствора Si1−xGex из жидкой фазы

Получение варизонного твердого раствора Si1−xGex из жидкой фазы
©Раззаков А. Ш., канд. физ.-мат. наук, Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, razzokov.a@bk.ru
©Латипова М. А., Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, latipova_1976@list.ru
©Кадиров А. Х., Ургенчский государственный университет, г. Ургенч, Узбекистан, alibek_qodirov89@mail.ru

Аннотация. Приведены теоретические расчеты c использованием экспериментальных данных, а также результаты исследований зависимости состава растворов-расплавов (Sn + Ge + Si, Ga + Ge + Si) от температурного режима. Получены монокристаллические пленки варизонного твердого раствора Si1−xGex(0<x<1) на подложках Si <111> методом жидкофазной эпитаксии из ограниченного оловянного, галлиевого раствора-расплава. Найдены оптимальные технологические режимы роста, для получения кристаллических совершенных эпитаксиальных слоев и структур.

Ключевые слова: дислокация, эпитаксия, кластер, твердый раствор, кристаллизация.

Getting Variable-gap Solid Solution Si1−xGex From a Liquid Phase
©Razzakov A., Ph.D., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, razzokov.a@bk.ru
©Latipova M., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, latipova_1976@list.ru
©Qodirov A., Urgench State University, Urgench, Uzbekistan, alibek_qodirov89@mail.ru

Abstract. Using experimental data, as well as using theoretical calculations, the results of studies of the composition of melt solutions (Sn + Ge + Si, Ga + Ge + Si) from temperature conditions are presented. Single-crystal films of a graded-gap solid solution Si1-xGex (0<x<1) on Si <111> substrates were obtained by liquid-phase epitaxy from a limited tin, gallium solution-melt. Optimal technological growth modes are found for obtaining crystalline perfect epitaxial layers and structures.

Keywords: dislocation, epitaxy, cluster, solid solution, crystallization.

Ссылка для цитирования:


Раззаков А. Ш., Латипова М. А., Кадиров А. Х. Получение варизонного твердого раствора Si1−xGex из жидкой фазы // Бюллетень науки и практики. 2021. Т. 7. №3. С. 200-205. https://doi.org/10.33619/2414-2948/64/20

Cite as (APA):


Razzakov, A., Latipova, M., & Qodirov, A. (2021). Getting Variable-gap Solid Solution Si1−xGex From a Liquid Phase. Bulletin of Science and Practice, 7(3), 200-205. (in Russian). https://doi.org/10.33619/2414-2948/64/20